FS-70 系列

378 系列 — 半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡單元

? 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金

屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹(shù)脂等。

? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專(zhuān)業(yè)器械的

OEM (原廠(chǎng)委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅

外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光* 對(duì)半導(dǎo)體晶

片進(jìn)行檢測(cè)和修補(bǔ)的設(shè)備。

* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

? 應(yīng)用：切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做

標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色

濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀

察剖面圖以便探針?lè)治霭雽?dǎo)體故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。

應(yīng)用：晶體硅的內(nèi)部觀察；紅外光譜特征

分析。

* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

? 支持BF (明視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微

分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)

系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。

? 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長(zhǎng)工作距離的物鏡確保了顯

微鏡下的高可操作性。

規(guī)格

型號(hào)FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH

貨號(hào)378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3

型號(hào)FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

貨號(hào)378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

聚焦調(diào)節(jié)使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對(duì)焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍